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酸碱洗槽清洗机,苏州晶淼半导体设备有限公司
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发布时间: 2020-08-04 11:33
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详细信息

酸碱洗槽清洗机

用于晶片或其他被洗工件的酸碱洗腐蚀,

控制模式: 手动控制模式   自动控制模式,

清洗能力:2-8英寸晶片或其他被洗工件。

需甲方提供花篮或我司设计篮具。                             

设备形式: 室内放置型。

洁净度:千级洁净室 。

工艺说明:手动方式实现放片(工件),取片(工件),槽体间传送片。

工艺参数(温度,时间,DI水清洗流量,时间)手动设定。


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